ALDER
ALDER-800TBS
ALDER-800TBS (A800TBS) 是一种热模式 ALD 系统，具有大容量负载锁定机制，可实现高通量、高均匀性和出色的重现性。
- 特征
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专为 LED 等高通量 ALD 应用而设计
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以良好的再现性实现高度均匀的沉积工艺
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6 秒以下的快速 ALD 循环
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维护周期长
