离子源
OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus
17cm RF Ion Source
OIS-One是光驰自行开发的离子辅助蒸度高性能射频（RF）离子源，适应于在高速率下的离子束辅助沉积（IAD）及清洗。搭载在光驰的成膜设备OTFC-1100,OTFC-1300上适于各种光学滤光片的中规模量产。 OIS-Two Plus是OIS-Two的延伸机型。在离子辅助蒸镀大电流大面积的性能方面加以进化的RF离子源，维护性能的优化及中和器的改良，提高冷却效率来达到稳定生产的效果。适用于在高速率下离子束辅助沉积（ＩＡＤ）及清洗。搭载在光驰的ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成膜设备上可适合于各种光学滤光片的大规模量产。
- 特征
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同使用灯丝型的离子源比较，寿命长，污染少。
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高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф1150mm以上
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动作安定性高，能长时间运转
- 规格
- 型号 OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
- 尺寸 φ300mm × 150mm (H)
- 栅网尺寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
- 离子束电压 100V～1500V
- 离子束电流 1000mA 1200mA
- Acc电压 100V～1000V
- RF功率 600W 750W 1000W
- 气体流量 20sccm～30sccm（氩气）40sccm～60sccm（氧气）
- 使用压力 5 × 10-2 Pa
- 水冷方式 RF线圈和本体
- 中和器规格
- 尺寸 φ 6cm × 8cm
