ALDER

ALDER-800P

ALDER-800P 是一种等离子 ALD 系统,可在塑料基板上进行光学多层沉积。

特征
在整个镜片圆周和 3D 结构上进行保形沉积
可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上进行薄膜沉积。
工作盘成膜量大 Φ100×75片
等离子工艺可实现低温沉积
通过优化原材料供应和等离子体照射缩短沉积时间