离子源

OIS-CDM

OIS-CDM可以测量离子源的离子电流密度，可以通过选择专用程序自动进行测量。

规格
电源电压 交流电 100 V±15 ％
偏置电源（内部） 0至±60 V / 0.5 A
标准测量范围 ±199.99 mA至±1.9999 mA
规管，电缆，导入接头
标准规管 φ30mm（φ8mm，测量平面），10个
扫描点数 32点
尺寸 480 × 99 × 330 mm