离子源

OIS-Three/OIS-Three Plus

RF Ion Source

OIS-Three/ OIS-Three Plus是离子辅助蒸镀的RF离子源,拥有世界最大级的照射离子束,可以均匀照射Ф1600伞架。适合高速率下的真空蒸着及基板清洁。搭载在OTFC-1800光学镀膜机上,最适合于各种高性能光学滤光片的大批量生产。

特征
新开发的特殊栅网,寿命长
同使用灯丝型的离子源相比,寿命长,污染少
高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1600mm以上
动作安定性高,能长时间运转
规格
型号 OIS-Three OIS-Three Plus
尺寸 φ 390mm × 215mm(H)
栅网尺寸 Ф 23cm(Molybdenum制3枚)
离子束电压 100V~1500V
离子束电流 1800mA 2400mA
Acc电压 100V~1000V
RF功率 2000W
气体流量 20sccm~40sccm(氩气)40sccm~80sccm(氩气)
使用压力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF线圈和本体
中和器规格
尺寸 φ 7cm × 12cm
发射电流 2800mA(max)
RF功率 150W(max)
气体流量 5sccm~10sccm(氩气)