连续式光学薄膜形成装置

COFC-1300

COFC-1300是由三个腔体组成的连续式光学薄膜镀膜,可不破坏真空的情况下搬运工件,以实现连续大量生产光学滤光片。

特征
无振动伞架搬运系统
中心旋转系统可提高旋转精度并抑制颗粒产生
最大转速为20rpm,以改善膜厚控制能力
12点式高精度光学测厚监控仪
水晶微平衡监控仪(最多80个监测点)
装载射频离子源以实现高品质复杂薄膜
自动伞架安装系统(可选自动装载搬运系统,可选额外真空室)
规格
真空腔体(3腔体式) 上片腔体+蒸镀腔体+下片腔体
(可选上片/下片式)
真空上片/下片腔体(2腔体) 304不锈钢,
约1500mm (长) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸镀腔体(2个门阀) 304不锈钢,
约1500mm (长) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
极限真空压力 ≤1.5 × 10-4 Pa
连续镀膜的极限真空时间 ≤5 - 10分钟 (7.0 × 10-3 Pa)
基板伞架 直径1200 mm
旋转速度 5 - 20 rpm
蒸发源(2个蒸发源) 电子枪(带自动进料系统)
射频离子源 直径17cm
工作条件
电源要求 3相+G, 200V ± 5%、约140kVA、50/60Hz
冷却水流量 三个进水口≥200升/分钟
重量 约25000 kg