COFC-1300

特征

无振动伞架搬运系统

中心旋转系统可提高旋转精度并抑制颗粒产生

转速为20rpm，以改善膜厚控制能力

12点式高精度光学测厚监控仪

水晶微平衡监控仪（最多80个监测点）

装载射频离子源以实现高品质复杂薄膜

自动伞架安装系统（可选自动装载搬运系统，可选额外真空室）

规格

真空腔体（3腔体式） 上片腔体+蒸镀腔体+下片腔体
（可选上片/下片式）

真空上片/下片腔体（2腔体） 304不锈钢，
约1500mm (长) × 1500mm (深) × 1560mm (高)

蒸镀腔体（2个门阀） 304不锈钢，
约1500mm (长) × 1500mm (深) × 1560mm (高)

极限真空压力 ≤1.5 × 10-4 Pa

连续镀膜的极限真空时间 ≤5 - 10分钟 (7.0 × 10-3 Pa)

基板伞架 直径1200 mm

旋转速度 5 - 20 rpm

蒸发源（2个蒸发源） 电子枪（带自动进料系统）

射频离子源 直径17cm

工作条件

电源要求 3相+G, 200V ± 5％、约140kVA、50/60Hz

冷却水流量 三个进水口≥200升/分钟

重量 约25000 kg