光学膜厚监控仪

HOM1-1

高精度光学膜厚监控仪

用于DWDM成膜用真空镀膜系统的膜厚控制。

特征
高NA值光学系统和超低噪音电路设计,实现超低噪音,相对值达到 +0.01%
应用高分解能分光光学系,波长分解能达到0.08nm(1550nm)
使用卤素灯光源,使用波长范围1100nm-1700nm
运用先进的成膜计算控制技术,光透过率的极值监控能力可达+0.01%
规格
型号 HOM1-1
波长带域 1100nm - 1700nm
波长分解能 0.08nm
光亮设定分解能 0.001%
光源 卤素灯
电源 AC100V±10%, 50/60Hz
消费电力 600VA