1999年

1999年总公司在日本琦玉县成立

2000年

 光驰科技（上海）有限公司成立

2001年

上海平塘路工厂开始投入生产

2002年

小型真空装置PM500完成

2003年

精密光学成膜装置开始组装

2004年

上海宝山新工厂一期竣工

2004年

精密机械加工开始生产

2005年

精密机械加工OEM开始接受订单

2006年

与Satisloh公司（瑞士）缔结OEM协作合同

2006年

精密光学成膜装置Gener－1300开始出货

2006年

电气控制柜开始生产

2007年

资本金增资为8亿日元

2008年

精密光学成膜装置开始全线生产

2008年

上海宝山2期工厂竣工、机械加工事业扩大

2009年

公司组织结构调整，向技术创新型企业转型

2010年

薄膜研究开发中心成立

2011年

整机生产能力达到年生产300台以上

2011年

首次取得高新技术企业证书

2012年

取得上海市著名商标称号

2013年

真空机械事业部成立

2014年

4月 HSP机试制成功

2015年

取得劳动关系和谐企业示范单位

2016年

获得上海市守合同重信用企业AAA称号

2017年

 取得高新企业认定证书

2018年

获得上海市跨国公司研发中心的称号认定为宝山工程技术研究中心

2019年

认定“跨国地区总部称号”

2020年

三期扩建工程动工

2022年

三期扩建工程产证取得

光驰半导体公司   买地、基建开工